Полное описание
>
Чапкевич, А. Л. Исследование имплантационных методов формирования структур полупроводниковых СВЧ и фотодиодов : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / А. Л. Чапкевич. - М. : [б. и.], 2004. - 42 c. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 38-42(32 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
29.35.47 | 621.382.2.029.6-047.84(043) | |
47.33.33 | 621.383.52-047.84(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Заказ фрагмента документа ₽