Полное описание

Ар03-8007
Жирков, М. В. Разработка методов и средств контроля параметров технологии водоподготовки в производстве изделий микроэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 / М. В. Жирков. - М. : [б. и.], 2003. - 25 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 23-25 (17 назв.)

ГРНТИ	УДК
75.31.19	628.175:621.38.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽