Полное описание

Ар03-3642
Белянин, А. Ф. Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / А. Ф. Белянин. - М. : [б. и.], 2003. - 50 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 43-50(86 назв.)

ГРНТИ	УДК
29.37.25	621.3.049.76.002.3(043)
47.33.37	681.89-03(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽