Полное описание

Ар03-13093
Савкин, А. В. Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. В. Савкин. - М. : [б. и.], 2002. - 24 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 23-24 (10 назв.)

ГРНТИ	УДК
67.53.25	697.9:621.38(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽