Полное описание

Ар03-1309
Хрусталев, В. А. Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.09.10 / В. А. Хрусталев. - Новосибирск : [б. и.], 2002. - 32 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 29-32(52 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13	621.38.002.5(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽