Полное описание

АР99-974
Ким Чжон Суп. Моделирование процесса осаждения и разработка методов контроля градиентных пленок в процессе осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.11.07 / Ким Чжон Суп. - СПб : [б. и.], 1998. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (техн. ун-т). Библиогр.:с. 17(7 назв.)

ГРНТИ	УДК
81.37.15	681.7.064.45.055(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽