Полное описание

АР99-1743
Королев, А. Н. Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / А. Н. Королев. - Таганрог : [б. и.], 1998. - 36 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. Библиогр.:с. 30-35 (42 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002:669(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽