Полное описание

АР99-1543
Ефремов, М. Д. Дефектообразование в напряженных структурах на кремнии при радиационно-термических обработках : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / М. Д. Ефремов. - Новосибирск : [б. и.], 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Рос.АН. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников.Библиогр.:с.16(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽