Полное описание

АР99-сф175
Сауров, А. Н. Методы самоформирования в микроэлектронике : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / А. Н. Сауров. - М. : [б. и.], 1999. - 46 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 39-46(53 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : СФ (1)
Свободны: СФ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽