Полное описание

АР98-6220
Енишерлова-Вельяшева, К. Л. Физико-технологические основы управления процессами дефектообразования в кремниевых полупроводниковых структурах : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.06 / К. Л. Енишерлова-Вельяшева. - М. : [б. и.], 1998. - 46 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Гос. унитарное предприятие НПП Пульсар. Библиогр.:с. 42-46(61 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.004.6(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽