Полное описание

АР98-5309
Марголин, В. И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин. - СПб : [б. и.], 1998. - 29 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 22-29

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽