Полное описание

АР98-4184
Юнкин, В. А. Исследование особенностей реактивного ионно-плазменного травления кремния при формировании микроструктур с широким диапазоном аспектных отношений : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. А. Юнкин. - Черноголовка : [б. и.], 1998. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 19-20(15 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.29.39	681.7.015(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽