Полное описание

АР98-4122
Шевяков, В. И. Физико-технологические основы создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Шевяков. - М. : [б. и.], 1998. - 53 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 47-53 (53 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽