Полное описание

АР98-2577
Уваров, Е. И. Разработка неразрушающих автоматизированных методов исследования полупроводников и полупроводниковых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.10 / Е. И. Уваров. - Новосибирск : [б. и.], 1997. - 15 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 14-15 (21 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.01.81	621.315.592.9:620.179(043)
	621.382:620.179(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽