Полное описание

АР98-1390
Лукичев, В. Ф. Теоретическое исследование глубокого анизотропного травления кремниевых структур в низкотемпературной плазме : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. Ф. Лукичев. - М. : [б. и.], 1997. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 22-25

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592:621.794(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽