Полное описание

АР97-728
Боднарь, О. Б. Теоретические и экспериментальные исследования диффузии бора и фосфора в приповерхностной области ионно-легированного кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / О. Б. Боднарь. - М. : [б. и.], 1997. - 26 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. гос. акад. приборостроения и информатики. Библиогр.:с. 24-26(9назв.)

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.219.3(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽