Полное описание

АР97-305
Сошников, И. П. Исследование закономерностей и особенностей распыления полупроводниковых материалов А В при бомбардировке ионами Ar ,Xe ,N и смесью ионов Ar -I : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / И. П. Сошников. - СПб : [б. и.], 1996. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Рос.АН,Физ.-техн.ин-т им.А.Ф.Иоффе.Библиогр.:с. 20-22(20 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002:669(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽