Полное описание

АР97-096
Фартушная, В. М. Оптимизация режимов магнетронного осаждения пленок оксидов металлов для устройств функциональной микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. М. Фартушная. - М. : [б. и.], 1996. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 22(9 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽