Полное описание

АР97-022
Зюрюкин, А. В. Компьютерное моделирование процессов распространения и осаждения аэрозольных частиц в локальных чистых объемах микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / А. В. Зюрюкин. - М. : [б. и.], 1996. - 29 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск.ин-т электронной техники (техн.ун-т).Библиогр.:с. 28-29(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382-047.84(043)
75.31.25	697.9(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽