Полное описание

АР97-0142
Дикевич, А. Я. Разработка и исследование интегрального сорбционно-емкостного датчика для контроля относительной влажности в чистых технологических помещениях микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Я. Дикевич. - М. : [б. и.], 1997. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 18-19(18 назв.)

ГРНТИ	УДК
67.53.25	697.9:621.38(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽