Полное описание

АР96-7022
Шибков, А. А. Численное моделирование субмикронных кремниевых приборов и технологических процессов : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / А. А. Шибков. - М. : [б. и.], 1996. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Моск.физ.-техн.ин-т. Библиогр.:с. 16-17(6 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.001.57(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽