Полное описание

АР96-530
Ковалгин, А. Ю. Исследование процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / А. Ю. Ковалгин. - СПб. : [б. и.], 1995. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 16(7назв.)

ГРНТИ	УДК
45.09.37	621.315.61.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽