Полное описание

АР96-3438
Пашков, В. Ю. Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. Ю. Пашков. - М. : [б. и.], 1996. - 25 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 24-25(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002.5(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽