Полное описание

АР96-2920
Мавлянов, Р. К. Получение аморфных и микрокристаллических тонкопленочных материалов а-Si C H, -SiH и исследование свойств пленок и приборных структур на их основе : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Р. К. Мавлянов. - СПб. : [б. и.], 1996. - 19 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Рос.АН,Физ.-техн.ин-т им.А.Ф.Иоффе.Библиогр.:с. 19(4 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592(043)
47.09.29	621.382(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽