Полное описание

АР96-2
Истомина, Н. Л. Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Н. Л. Истомина. - М. : [б. и.], 1995. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.гос.технол.ун-т им.К.Э.Циолковского. Библиогр.:с.14-15(14 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.396.6.029.6.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽