Полное описание

АР96-1644
Кибардин, А. В. Изменение профилей концентрации атомов в тонкопленочных структурах Me-Si при тепловом и радиационном воздействиях : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / А. В. Кибардин. - Екатеринбург : [б. и.], 1996. - 27 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Урал.гос.техн.ун-т. Библиогр.:с. 23-27 (30 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-416(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽