Полное описание

АР96-0150
Самойликов, В. К. Оптимизация технологического оборудования и процесса газофазной эпитаксии кремния производства СБИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07;05.27.01 / В. К. Самойликов. - М. : [б. и.], 1996. - 49 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 33-39

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽