Полное описание

АР95-704
Радаев, А. А. Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / А. А. Радаев. - 1994 : [б. и.], Б. г. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.энерг.ин-т (техн.ун-т). Библиогр.: с.19-20 (8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽