Полное описание

АР95-6331
Ухов, А. А. Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / А. А. Ухов. - СПб : [б. и.], 1995. - 14 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.13-14(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84(043)
	621.3.049.76-416(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽