Полное описание

АР95-6147
Злотникова, И. Я. Теоретическое и экспериментальное исследование процесса термического окисления кремниевых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / И. Я. Злотникова. - Воронеж : [б. и.], 1995. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Воронеж.гос.ун-т. Библиогр.: с.16(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽