Полное описание

АР95-6003
Одиноков, В. В. Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,07.27.07 / В. В. Одиноков. - М. : [б. и.], 1995. - 32 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: НИИ точного машиностроения. Библиогр.: с.30-32(33 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002.5(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽