Полное описание

АР95-3805
Шокина, Д. И. Влияние термообработок в водороде на эволюцию примесно-дефектной подсистемы кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Д. И. Шокина. - М. : [б. и.], 1995. - 14 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.ин-т электрон.техники(Техн.ун-т). Библиогр.: с.13-14(6 назв.)

	УДК
	621.315.592.002:621.78(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽