Полное описание

АР95-2999
Кузмичев, А. В. Исследование процессов импульсивного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.21 / А. В. Кузмичев. - М. : [б. и.], 1995. - 23 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос. АН. Ин-т общ. физики. Библиогр.: с.23 (8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽