Полное описание

АР95-1957
Сунь Чанку. Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.07 / Сунь Чанку. - СПб : [б. и.], 1994. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Санкт-Петербург.гос.ин-т точной механики и оптики (техн.ун-т). Библиогр.: с.17 (2 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽