Полное описание

АР95-1078
Конончук, О. В. Количественные измерения локальных электрофизических свойств полупроводников в растровом электронном микроскопе : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / О. В. Конончук. - Черноголовка : [б. и.], 1994. - 17 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос.АН,Ин-т пробл.технологии микроэлектроники и особочистых материалов. Библиогр.: с.16-17(14 назв.)

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:537(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽