Полное описание

АР95-0130
Агеев, О. А. Исследование температурных полей, напряжении и дефектообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / О. А. Агеев. - Таганрог : [б. и.], 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Таганрог.гос.радиотехн.ун-т. Библиогр.: с.14-16(15 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84:621.785(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽