Полное описание

АР94-5526
Левенец, В. В. Оптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / В. В. Левенец. - М. : [б. и.], 1994. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:НИИ физ. пробл.им.Ф.В.Лукина.Библиогр.:с.19(6 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽