Полное описание

АР94-5339
Ашуров, Х. Б. Формирование пленок и эпитаксиальных слоев кремния на сапфировых подложках при осаждении из ионно-молекулярных потоков : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.04 / Х. Б. Ашуров. - Ташкент : [б. и.], 1994. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:АН Респ.Узбекистан,Ин-т электроники им.У.А.Арифова.Библиогр.:с.22-23(11 назв.)

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽