Полное описание

АР94-4027
Свадковский, И. В. Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эВ : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / И. В. Свадковский. - Минск : [б. и.], 1993. - 20 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с.19-20(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.184(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽