Полное описание

АР94-2251
Коваль, Ю. И. Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Ю. И. Коваль. - Черноголовка : [б. и.], 1993. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос.АН,Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов. Библиогр.: с.18-20 (12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002:621.794(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽