Полное описание

АР94-1630
Шептунов, О. А. Исследование диэлектрической системы "неоднородная пленка- однородная подложка" эллипсометрическим методом : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:01.04.01 / О. А. Шептунов. - СПб. : [б. и.], 1993. - 15 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос.АН, Ин-т аналит. приборостроения. Библиогр.: с.14-15(7назв.)

ГРНТИ	УДК
45.09.37	621.315.61-416(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽