Полное описание

АР94-0364
Каракеян, В. И. Научные основы нормализации основных параметров микроклимата технологии интегральных схем в чистых производственных помещениях : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук:05.27.01 / В. И. Каракеян. - М. : [б. и.], 1994. - 43 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с.39-43 (40 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	697.9:621.38(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽