Полное описание

АР94-0353
Падеров, В. П. Исследование границы раздела диэлектрик-полупроводник с целью разработки плазмохимического процесса для формирования МДП структур на соединениях А В : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / В. П. Падеров. - М. : [б. и.], 1994. - 23 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.гос.ин-т электронной техники (техн.ун-т). Библиогр.: с.22-23(14 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.323.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽