Полное описание

АР94-0161
Сытов, И. П. Моделирование процесса фотостимулированного травления кремния в среде хлора : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / И. П. Сытов. - Минск : [б. и.], 1993. - 18 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с.17-18(13 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592:621.794(043)
47.09.29

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽