Полное описание

АР93-6444
Чжан Хай-Ин. Физико-технологические основы ионно-плазменного травления карбида кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / Чжан Хай-Ин. - СПб. : [б. и.], 1993. - 12 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: С.-Петербург.гос. электротехн.ун-т. Библиогр.: с.12(2назв.)

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592:621.794(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкфш. Шифр МФ

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽