Полное описание

АР93-3589
Рау, Э. И. Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.01 / Э. И. Рау. - М. : [б. и.], 1993. - 26 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос. АН, ЦКБ уникального приборостроения. Библиогр.:с.21-26 (60 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:620.179(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкфш. Шифр МФ

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽