Полное описание

АР93-3550
Эмексузян, В. М. Геттерирование и пассивация примесей и радиационных дефектов в кремнии : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / В. М. Эмексузян. - Новосибирск : [б. и.], 1993. - 18 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос.АН,Сиб.отд-ние,Ин-т физики полупроводников. Библиогр.: 16-18(21 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382-047.84(043)
47.33.31	621.3.049.77-047.84(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкфш. Шифр МФ

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽