Полное описание

АР93-04208
Кононов, В. Ю. Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / В. Ю. Кононов. - М. : [б. и.], 1993. - 27 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.гос.ин-т электронной техники(техн.ун-т). Библиогр.: с.26-27(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽