Полное описание

АР92-7787
Казаков, А. И. Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.06 / А. И. Казаков. - М. : [б. и.], 1992. - 36 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 33-36(39назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002(043)
47.09.29	621.315.592.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкфш. Шифр МФ

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽