Полное описание
>
Казаков, А. И. Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.06 / А. И. Казаков. - М. : [б. и.], 1992. - 36 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 33-36(39назв.).
ГРНТИ | УДК | |
47.33.37 | 621.3.049.76.002(043) | |
47.09.29 | 621.315.592.002(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкфш. Шифр МФ
Заказ фрагмента документа ₽