Полное описание

АР92-4626
Жмакин, А. И. Численное моделирование гидродинамических процессов при выращивании полупроводниковых структур методами газофазной и жидкофазной эпитаксии : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ-мат.наук:01.02.05 / А. И. Жмакин. - СПб : [б. и.], 1992. - 33 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: С.-Петербург.гос.техн.ун-т. Библиогр.: с. 31-32(31назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкфш. Шифр МФ

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽